کوره رشد epitaxy HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC))

این تجهیزات برای پوشش کربید سیلیکون مواد مبتنی بر کربن / سرامیک استفاده می شود.به ویژه رسوب کربید سیلیکون در سطح سیمکاندکتور حساس اپیتاکسیال و حلقه حکاکی.

پايه اپيتاکسيال، يک ديسک گرافيت با طهارت بالا، با يک شکاف دايره اي براي تثبيت سبست وفرپس از قرار دادن آنها در کوره، یک لایه از فیلم بلوری در سطح بستر رشد می کند، که لایه epitaxial است.فرآیندهای وافری مانند لیتوگرافی و کاشت یون همه بر روی لایه اپیتاکسیال انجام می شود.

پایه epitaxial ساخته شده از گرافیت به وضوح نمی تواند نیازهای بسیار بالا از تمیز بودن در فرآیند نیمه هادی را برآورده کند.به همین دلیل، ما باید از رسوب بخار شیمیایی روی پایه استفاده کنیم تا یک لایه از فیلم کربید سیلیکون متراکم را پوشش دهیم.

پیکربندی اختیاری

1درب کوره: نوع بالا بردن پیچ / هیدرولیک / دستی؛ باز شدن سوئیچ / باز شدن موازی ((در کوره بزرگ) ؛ بسته شدن دستی / بسته شدن اتوماتیک
2ظرف کوره: تمام فولاد کربن/ لایه داخلی فولاد ضد زنگ/ تمام فولاد ضد زنگ
3منطقه گرم کوره: فیلت کربن نرم / فیلت گرافیت نرم / فیلت کامپوزیت سخت / CFC
4عنصر گرمایش و مفل: گرافیت مطبوعات ایزواستاتیک / گرافیت خالص ، قدرت و چگالی بالا / گرافیت اندازه کوچک
5. سیستم گاز فرآیند: حجم/ماس جریان سنج
6ترموپول: نوع K/نوع N/نوع C/نوع S

• استانداردهای طراحی

این تجهیزات مطابق با الزامات ظرف های تحت فشار اداره نظارت کیفیت و فنی طراحی شده و پس از آزمایش فشار و حمل واجد شرایط است.طراحی و ساخت برق با استانداردهای ملی مطابقت دارد.

• تست قبل از نصب و قبل از پذیرش

تجهیزات به طور کامل در کارخانه ما جمع آوری شده است، از جمله تمام لوله ها، لوله های خلاء، لوله های گاز فرآیند، لوله های آب خنک کننده، لوله های هوا فشرده و غیره.آزمایش پیش از نصب می تواند پس از نصب انجام شود. در محل مشتری، لوله های دیگر به غیر از تجهیزات توسط مشتری فراهم می شود. نصب همچنین شامل اتصال تمام کابل ها است. در محل مشتری، لوله های دیگر به غیر از تجهیزات توسط مشتری فراهم می شوند.کابل اصلی اتصال کابینت برق توسط مشتری تامین می شود.بعد از نصب، ما آزمایشات خلاء و نشت فشار مثبت را بر روی کل تجهیزات و همچنین آزمایش عملکرد مکانیکی و الکتریکی انجام می دهیم.

• جداسازی و حمل

تجهیزات به چندین بخش بزرگ جدا می شوند، به روش استاندارد بسته بندی می شوند و به وسیله نقلیه حمل و نقل بارگذاری می شوند.

• نصب و راه اندازی سایت مشتری

مهندسي پس از فروش ريدل، گروه را به اتمام رساندن، سوزاندن آزمايش محصول و سایر کارها در عرض 20 روز کاري هدایت خواهد کرد.مشتری باید آماده سازی مناسب و ابزار لازم را فراهم کندو پشتیبانی از پرسنل نصب ( توصیه می شود 1 پرسنل مکانیکی و 1 پرسنل الکتریکی داشته باشید).

• پذیرش نهایی
پس از نصب و راه اندازی، تجهیزات می توانند به طور نهایی مطابق با الزامات قرارداد فنی پذیرفته شوند.

• آموزش
مهندسان پس از فروش ما آموزش سیستماتیک و کامل در محل، از جمله عملیات، نگهداری، عیب یابی و غیره را ارائه می دهند.

• ارائه داده های فنی

برای اطمینان از عملیات ایمن و نگهداری تجهیزات، داده های فنی زیر به مشتریان ارائه می شود:

1طرح نصب تجهیزات
2. راهنمای کاربری
3لیست قطعات
4نقشه هاي الکتريکي
5. راهنماي قطعات

سوالات عمومی

شما کارخانه ای هستید یا شرکت تجاری؟

س: آیا شما یک کارخانه یا شرکت تجاری هستید؟
A: ما تولید کننده کوره های خلاء درجه حرارت بالا در چین با بیش از 10 سال تجربه هستیم.

شما خدمات سفارشی سازی یا OEM دارید؟

س: آیا شما سفارشی سازی یا خدمات OEM دارید؟
A:بله،ما تیم R&D قدرتمند و تجهیزات پیشرفته داریم. بنابراین ما نه تنها می توانیم مدل معمولی را تامین کنیم، بلکه کوره سفارشی را نیز به عنوان بازپرداخت مشتریان خود ارائه می دهیم.

چه برتری داری؟

سوال: مزاياي شما چيه؟
الف:

پاسخ سريع به درخواست شما

کنترل کیفیت بالا

l زنجیره تامین پایدار

تحویل به موقع

خدمات پس از فروش عالی