کوره پوشش CVD کربید سیلیکون برای حساسیت گرافیت یا حلقه حکاکی

کوره پوشش CVD کربید سیلیکون برای حساسیت گرافیت یا حلقه حکاکی

این تجهیزات برای رسوب کربید سیلیکون بر روی سطح مواد مبتنی بر کربن / سرامیک استفاده می شود، به ویژه برای حساس نیمه هادی و حلقه حکاکی.

گرافیت حساس، یک دیسک گرافیت با خروجی دایره ای برای تثبیت بستر وافره. پس از قرار دادن آنها در کوره،یک لایه از فیلم کریستالی در سطح بستر رشد خواهد کرد، که لایه اپیتاکسیال است.

فرآیندهای وافری مانند لیتوگرافی و کاشت یون همه بر روی لایه اپیتاکسیال انجام می شود.پایه اپیتاکسیال ساخته شده از گرافیت به وضوح نمی تواند نیازهای بسیار بالایی را در فرآیند نیمه هادی برآورده کند.

به همین دلیل، ما باید از رسوب بخار شیمیایی روی پایه استفاده کنیم تا یک لایه از فیلم کربید سیلیکون متراکم را پوشش دهیم.

• استانداردهای طراحی

این تجهیزات مطابق با الزامات ظرف های تحت فشار اداره نظارت کیفیت و فنی طراحی شده و پس از آزمایش فشار و حمل واجد شرایط است.طراحی و ساخت برق با استانداردهای ملی مطابقت دارد.

• تست قبل از نصب و قبل از پذیرش

تجهیزات به طور کامل در کارخانه ما جمع آوری شده است، از جمله تمام لوله ها، لوله های خلاء، لوله های گاز فرآیند، لوله های آب خنک کننده، لوله های هوا فشرده و غیره.آزمایش پیش از نصب می تواند پس از نصب انجام شود. در محل مشتری، لوله های دیگر به غیر از تجهیزات توسط مشتری فراهم می شود. نصب همچنین شامل اتصال تمام کابل ها است. در محل مشتری، لوله های دیگر به غیر از تجهیزات توسط مشتری فراهم می شوند.کابل اصلی اتصال کابینت برق توسط مشتری تامین می شود.بعد از نصب، ما آزمایشات خلاء و نشت فشار مثبت را بر روی کل تجهیزات و همچنین آزمایش عملکرد مکانیکی و الکتریکی انجام می دهیم.

• جداسازی و حمل

تجهیزات به چندین بخش بزرگ جدا می شوند، به شیوه ای استاندارد بسته بندی می شوند و به وسیله نقلیه حمل و نقل بارگذاری می شوند.

• نصب و راه اندازی سایت مشتری

مهندس پس از فروش ريدل، گروه را به سمت اتمام راه اندازی، سوزاندن آزمايش محصول و سایر کارها در عرض 20 روز کاری هدایت خواهد کرد.مشتری باید آماده سازی مناسب و ابزار لازم را فراهم کندو پشتیبانی از پرسنل نصب ( توصیه می شود 1 پرسنل مکانیکی و 1 پرسنل الکتریکی داشته باشید).

• پذیرش نهایی

پس از نصب و راه اندازی، تجهیزات می توانند به طور نهایی مطابق با الزامات قرارداد فنی پذیرفته شوند.

• آموزش

مهندسان پس از فروش ما آموزش سیستماتیک و کامل در محل، از جمله عملیات، نگهداری، عیب یابی و غیره را ارائه می دهند.

• ارائه داده های فنی

برای اطمینان از عملیات ایمن و نگهداری تجهیزات، داده های فنی زیر به مشتریان ارائه می شود:

1طرح نصب تجهیزات

2. راهنمای کاربری

3لیست قطعات

4نقشه هاي الکتريکي

5. راهنماي قطعات