Workingspace: 12-1000L
Max.WorkingPressureMax.WorkingPressure (MPA): 1、2、6、10、20
حداکثر دمای کار: 1300 ℃
دمای کار: 1200 ℃
جزئیات بسته بندی: جعبه های چوبی
زمان تحویل: 5-6 ماه
منطقه گرمایش: تک/دوتایی/چند
اندازه گیری دما: W-re 5/26 ترموکوپل+پیرومتر مادون قرمز
اندازه: سفارشی
گاز ورودی: N2، Ar، H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
حداکثر دمای کاری (℃): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
حداکثر دمای کاری: 1800 ℃
حداکثر فشار کاری: 9.8 بار
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
زمان خنک شدن: ≤1H/4H/5H/6H/8H (کوره خالی ، خنک کننده از دمای پخت 1450-100 درجه سانتیگراد) دمای آب 26 ℃ ، فشار آب 2
اندازه: سفارشی
مواد پوشش دهنده: فلز ، سرامیک ، شیشه و غیره
چسبندگی پوشش: قوی
پیش سازها و گازهای فرآیندی: Ticl4 、 Alcl3 、 ch3cn 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO 、 CO2 、 HCL 、 H2S
اندازه تجهیزات پوشش: قابل تنظیم
روش پوشش: رسوب بخار شیمیایی (CVD)
حداکثر قدرت: حدود 40/50/60/80 کیلو وات
حداکثر قدرت: حدود 40/50/60/80 کیلو وات
مواد پوشش دهنده: فلز ، سرامیک ، شیشه و غیره
زمان خنک شدن: ≤1H/4H/5H/6H/8H (کوره خالی ، خنک کننده از دمای پخت 1450-100 درجه سانتیگراد) دمای آب 26 ℃ ، فشار آب 2
حداکثر دما: 2000 ℃
پیش سازها و گازهای فرآیندی: Ticl4 、 Alcl3 、 ch3cn 、 H2 、 N2 、 AR 、 CH4 、 CO 、 CO2 、 HCL 、 H2S
مواد پوشش دهنده: فلز ، سرامیک ، شیشه و غیره
درخواست خود را به طور مستقیم به ما بفرستید