اتاق واکنش: | 2 عدد | حداکثر دما:: | 1100 ℃ |
---|---|---|---|
دمای کاری: | 900-1050 درجه سانتیگراد | حداکثر قدرت: | حدود 75 کیلو وات |
قدرت گرمایش: | حدود 55 کیلو وات | اندازه موثر محفظه واکنش: | φ500mm×1500mm; |
برجسته: | دستگاه پوشش CVD 530L,دستگاه پوشش RDE CVD,تجهیزات پوشش CVD دو محفظه واکنش |
1.تجهیزاتاستحکام - قدرتس
1.1 حالت خودکاربا توجه به تنظیمات فرآیند، اجزا و فرآیندهای جداگانه به طور خودکار کنترل می شوند.کنترل اتوماتیک شامل سوئیچ سوپاپ، کنترل جریان گاز فرآیند، کنترل جریان مایع فرآیند، کنترل فشار راکتور، کوره گرمایش و کنترل دمای تسمه گرمایش الکتریکی و غیره بدون دخالت انسان در کل فرآیند است.فرآیند عملیات خودکار پردازش زنگ خودکار را انجام می دهد.با توجه به انواع مختلف آلارم، برای محافظت از محصولات در کوره به طور خودکار وارد حالت هشدار می شود.پس از آزاد شدن زنگ هشدار، می توان آن را به صورت دستی به حالت قبل از زنگ بازگرداند.
1.2.این فرآیند در طول فرآیند نظارت میشود، تمام دادههای حسگر و وضعیت دریچه در دادههای تاریخی ذخیره میشوند که در هر زمان قابل مشاهده هستند.
1.3.حالت دستی.یک اینترلاک ایمنی وجود دارد که به طور خودکار قفل را با توجه به نوع گاز و دمای داخل راکتور مشخص می کند و راکتور به دلخواه باز نمی شود.حالت دستی با عملکرد یک دکمه مانند جاروبرقی، H تنظیم می شود2پاکسازی، ن2پاکسازی و غیره، نیازی به جابجایی دستی شیرها و پمپ های خلاء نیست.
1.4.داده های زنگ به طور خودکار ذخیره می شوند و داده های تاریخی را می توان در هر زمان بازیابی کرد.
2. محیط کار کارخانه
2.1 رطوبت و دمای محیط
2.1.1 رطوبت محیط: <90٪ (در +35 درجه سانتیگراد)
2.1.2 دمای محیط: 5℃ ~ 40℃
2.2 منبع تغذیه
2.2.1 منبع تغذیه: 380 ولت ± 10٪، 50 هرتز، سیستم پنج سیم سه فاز
2.2.2 منبع تغذیه کنترل: 210 ولت تا 250 ولت، 50 هرتز، تک فاز
2.3 منبع هوا
2.3.1 فشار هوای فشرده: 6-7 بار،
2.3.2 فشار Ar: 2-3bar،
2.3.3 H2فشار و جریان: 2-3bar، 0-75slm
2.3.4 N2فشار و جریان: 2-3bar، 0-50slm
2.3.5 فشار و جریان CO: 2-3bar، 0-2.5slm
2.3.6 CO2فشار و جریان: 2-3bar، 0-5slm
2.3.7 CH4فشار و جریان: 2-3bar، 0-5slm
2.3.8 فشار و جریان هیدروکلراید: 2-3bar, 0-5slm
2.3.9 H2فشار و جریان S: 2-3bar، 0-0.4slm
2.4 منبع آب
2.4.1 فشار ورودی آب خنک کننده: 2-3 بار، آب خالص توصیه می شود.دما 13-16 درجه سانتیگراد است.(مشتریان باید به آب سرد مجهز شوند)، جریان آب خنک کننده، 5 متر3/h.
2.4.2 منبع آب آماده به کار اضطراری (که توسط کاربر تهیه شود)
فشار: 1.5 بار - 2 بار.