2026-08-12
چرا نیمه هادی به فیلم های نازک نیاز دارد؟
یک تراشه واحد، در اصل، یک ساختار سه بعدی است که توسط انباشت دقیق صدها لایه نازک فیلم تشکیل شده است.
هر لایه ای یک عملکرد خاص دارد:
| نوع فیلم نازک |
عملکرد |
مواد معمولی |
| لایه رسانا | جریان الکتریکی را هدایت کنید و دستگاه ها را متصل کنید | Al، Cu، W، TiN |
| لایه عایق بندی | مدارها را جدا کنید و از نشت برق جلوگیری کنید | SiO2، SiN، Low-k |
| لایه مانع | جلوگیری از انتشار و بهبود قابلیت اطمینان | TaN، TiN، W |
| مواد دروازه | تغییر دستگاه کنترل | پلی سی، دروازه فلزی |
| لایه غیرفعال سازی | حفاظت از سطح و افزایش ثبات | SIN، SON |
| لایه دی الکتریک | ذخیره بار الکتریکی برای تحقق عملکردها |
|
تکنولوژی فیلم نازک نیمه هادی
فیلم چگونه شکل می گیرد؟
1منبع مواد: هدف جامد، واکنش دهنده گازی یا پیشگام شیمیایی
2حمل: از طریق پلاسما، خلاء، گاز حامل یا پخش
3واکنش سطحی: جذب فیزیکی یا واکنش شیمیایی در سطح وافره رخ می دهد.
4هسته سازی و رشد: جمع آوری اتمی برای هسته سازی، رشد جزیره، شکل گیری فیلم مداوم و چگال شدن؛
5شکل گیری فیلم: شکل دادن یک فیلم نازک با ضخامت رو به افزایش، ساختار متراکم و میکروساخت پایدار.
![]()
درخواست خود را به طور مستقیم به ما بفرستید